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Lumasense Impac IGAR6 SIC單晶爐測溫儀具有極為寬范的測溫范圍100-2800℃，可以在整個工藝溫度范圍內(nèi)使用單一的測量儀器對單晶爐進行準確控溫，減少了低溫下對接觸測溫的依賴.

Lumasense Impac ISR6 SIC單晶爐測溫儀距離系數(shù)比高達350：1，可以確保單晶爐開孔較小的情況下實現(xiàn)準確測溫;ISR6調(diào)焦輪后置，調(diào)焦步進達到毫米級別，方便在任何時候準確調(diào)整焦距.ISR6的溫度范圍600-3000℃；ISR6有激光、透鏡和TV等多種瞄準方式可選；